የሁለት ጨረር ቅኝት ኤሌክትሮን ማይክሮስኮፒ (DB-FIB) መግቢያ

ለማይክሮአናኔሲስ ቴክኒኮች አስፈላጊ መሳሪያዎች፡- የጨረር ማይክሮስኮፒ (OM)፣ ባለ ሁለት ጨረር ቅኝት ኤሌክትሮን ማይክሮስኮፒ (DB-FIB)፣ የኤሌክትሮን ማይክሮስኮፕ (ሴም) እና ማስተላለፊያ ኤሌክትሮን ማይክሮስኮፒ (TEM) ያካትታሉ።የዛሬው መጣጥፍ የሬዲዮ እና የቴሌቭዥን ሜትሮሎጂ DB-FIB የአገልግሎት አቅም እና DB-FIB ወደ ሴሚኮንዳክተር ትንተና አተገባበር ላይ በማተኮር የ DB-FIBን መርህ እና አተገባበር ያስተዋውቃል።

DB-FIB ምንድን ነው?
ባለሁለት ጨረር መቃኛ ኤሌክትሮን ማይክሮስኮፕ (DB-FIB) በአንድ ማይክሮስኮፕ ላይ ያተኮረውን ion beam እና የኤሌክትሮን ጨረሩን የሚቃኝ መሳሪያ ሲሆን ብዙ ተግባራትን እንዲያሳካ እንደ ጋዝ መርፌ ሲስተም (ጂአይኤስ) እና ናኖማኒፑሌተር ያሉ መለዋወጫዎች የተገጠመለት መሳሪያ ነው። እንደ ማሳከክ, የቁሳቁስ ማስቀመጫ, ማይክሮ እና ናኖ ማቀነባበሪያ.
ከነሱ መካከል, ትኩረት የተደረገው ion beam (FIB) በፈሳሽ ጋሊየም ብረት (ጋ) ion ምንጭ የሚፈጠረውን ion ጨረር ያፋጥናል, ከዚያም በናሙናው ወለል ላይ በማተኮር ሁለተኛ ደረጃ የኤሌክትሮኖች ምልክቶችን ያመነጫል እና በማወቂያው ይሰበሰባል.ወይም የናሙናውን ወለል ለማይክሮ እና ናኖ ማቀነባበሪያ ለመቅረጽ ጠንካራ የአሁኑን ion beam ይጠቀሙ።የአካል ብረቶች እና የኬሚካል ጋዝ ምላሾች ጥምረት ብረቶችን እና ኢንሱሌተሮችን ለመምረጥ ወይም ለማስቀመጥ ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል።

የ DB-FIB ዋና ተግባራት እና አፕሊኬሽኖች
ዋና ተግባራት፡ የቋሚ ነጥብ ማቋረጫ ሂደት፣ የTEM ናሙና ዝግጅት፣ የተመረጠ ወይም የተሻሻለ ኢተክሽን፣ የብረታ ብረት ክምችት እና የንብርብር ማስቀመጫ።
የማመልከቻ መስክ፡ DB-FIB በሴራሚክ ቁሶች፣ ፖሊመሮች፣ ብረታ ብረት ቁሶች፣ ባዮሎጂ፣ ሴሚኮንዳክተር፣ ጂኦሎጂ እና ሌሎች የምርምር መስኮች እና ተዛማጅ የምርት ፍተሻዎች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል።በተለይም የ DB-FIB ልዩ የቋሚ ነጥብ ማስተላለፊያ ናሙና የማዘጋጀት ችሎታ በሴሚኮንዳክተር ውድቀት ትንተና አቅም ውስጥ የማይተካ ያደርገዋል።

GRGTEST DB-FIB አገልግሎት ችሎታ
በአሁኑ ጊዜ በሻንጋይ አይሲ ፈተና እና ትንተና ላብራቶሪ የታጠቀው DB-FIB በገበያ ውስጥ እጅግ የላቀ የጋ-FIB ተከታታይ የሆነው የሄሊዮስ G5 ተከታታይ Thermo Field ነው።ተከታታዩ ከ1 nm በታች የመቃኘት የኤሌክትሮን ጨረር ምስል ጥራቶችን ማሳካት ይችላል፣ እና በ ion beam አፈጻጸም እና አውቶሜሽን አንፃር ከቀዳሚው የሁለት-ጨረር ኤሌክትሮን ማይክሮስኮፒ የበለጠ የተመቻቸ ነው።DB-FIB የተለያዩ መሰረታዊ እና የላቀ ሴሚኮንዳክተር ውድቀት የትንታኔ ፍላጎቶችን ለማሟላት ናኖማኒፑላተሮች፣ የጋዝ መርፌ ስርዓቶች (ጂአይኤስ) እና የኢነርጂ ስፔክትረም EDX የተገጠመለት ነው።
ለሴሚኮንዳክተር አካላዊ ንብረት ውድቀት ትንተና እንደ ኃይለኛ መሳሪያ፣ DB-FIB የቋሚ ነጥብ መስቀለኛ ክፍል ማሽን በናኖሜትር ትክክለኛነት ማከናወን ይችላል።በተመሳሳይ ጊዜ በ FIB ሂደት ውስጥ ፣ የናኖሜትር ጥራት ያለው የኤሌክትሮን ጨረር መቃኘት የመስቀል ክፍልን በአጉሊ መነጽር ለማየት እና ቅንብሩን በእውነተኛ ጊዜ ለመተንተን ሊያገለግል ይችላል።የተለያዩ የብረታ ብረት ቁሳቁሶችን ( tungsten, platinum, ወዘተ) እና ብረት ያልሆኑ ቁሳቁሶችን (ካርቦን, ሲኦ2) ማስቀመጥን ያሳኩ;TEM እጅግ በጣም ቀጭን ቁርጥራጭ በቋሚ ነጥብ ሊዘጋጅ ይችላል, ይህም በአቶሚክ ደረጃ እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥራት ያለው ምልከታ መስፈርቶችን ሊያሟላ ይችላል.
በላቁ የኤሌክትሮኒክስ ማይክሮአናሊሲስ መሳሪያዎች ላይ ኢንቨስት ማድረጉን እንቀጥላለን፣ ሴሚኮንዳክተር ውድቀት ትንተና ተያያዥ አቅሞችን ያለማቋረጥ ማሻሻል እና ማስፋፋት እና ለደንበኞች ዝርዝር እና አጠቃላይ የውድቀት ትንተና መፍትሄዎችን እንሰጣለን።